موقعیت دهی خطی نامحدود با دقت حرکتی میکرو و نانو توسط عملگرهای پیزوالکتریک
دامنه جابجایی: نامحدود (قابل طراحی مبتنی بر نیاز)
سیستم یاتاقان بندی: Cross Roller
سیستم فیدبک موقعیت: دارد
رزولوشن: 400 نانومتر
دامنه تحریک: 0 -140 ولت
فرکانس کاری: 0-100 هرتز




